Nunca me ha sucedido nada parecido (será porque nunca he eliminado archivos de manera dinámica

) pero dado el error, te recomendaría en lugar de eliminar en ese lugar, darle valor a una variable booleana (seTieneQueEliminar=si/no) y seguir tu proceso, lo mueves o no, etc. Al final, destruye tu objeto FSO y crea uno nuevo si es que se tiene que eliminar...Por ahí con suerte se resuelve.
Saludos