Bueno,
esta página sugiere que puede ser el antivirus, en cuyo caso lo que puedes hacer es desinstalarlo, desactivarlo durante el la generación de tu Webservice, o poner el antivirus en modo manual, para controlar todos los cambios en tu sistema.
Por otro lado, puede ser que tus variable TMP, TEMP, apunten a una carpeta que no existe.
Aquí puedes encontrar más información.